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Vakuumöfen sind in der Regel elektrisch beheizt und zum Härten, Anlassen, Glühen, Löten, Sintern etc. geeignet. Der Ofenrezipient ist druckgeprüft und vakuumdicht ausgeführt. Die Evakuierung des Ofenrezipienten erfolgt über eine leistungsfähige Vakuumpumpe. Vakuumöfen werden unter Vakuum/Hochvakuum angeboten, zum Anlassen, Glühen und Löten auch unter Schutzgasen wie Stickstoff oder Argon, aber auch mit Reaktionsgasen wie zum Beispiel Wasserstoff, Azetylen und Ammoniak. Der Betrieb an Luft ist ausgeschlossen. Zum Härten werden die Vakuumöfen mit einer Schutzgas-Abschreckung (bis 20 bar) versehen. Eine Ölabschreckung in Doppelkammeranlagen ist ebenfalls möglich. Die Heizung besteht aus mehreren Graphitelementen, auf Wunsch auch aus Molybdän- oder Wolfram-Heizleitern.
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