Plasma-Wärmebehandlung im Ionenstrom

Plasma-Wärmebehandlung im Vakuum durch ionisierte, reaktionsfähige Gase. In einer Vakuum-Atmosphäre aus Stickstoff und Kohlenstoff oder anderen Gasen werden die Werkstücke im Ionenstrom einer Gasentladung auf Behandlungstemperaturen von 200 °C bis 500 °C, im Bedarfsfall auch geringer oder höher erwärmt und behandelt.

Die Nitrierhärtung im Vakuum mittels Ionenbeschuss im Plasma einer modifizierten Gasentladung, ist ein Verfahren zur Oberflächenbehandlung von Werkstücken aus z.B. Eisen, Stahl, Guss. In einer Retorte wird zwischen Werkstückoberfläche und Retortenwand eine Gleichspannung angelegt, wobei die Werkstücke vorwiegend als Kathode, die Retortenwand als Anode geschaltet sind. Der Atmosphärendruck wird evakuiert und bei einem konstanten Unterdruckbereich in einem reaktionsfähigen Behandlungsgas die Gasentladung durch Anlegen einer Basisspannung eingeleitet.